ガラス基板洗浄機【イレザックシリーズ】
ガラス基板に付着した接着剤や油脂、コンタミの洗浄に！ ロボットによる自動供給も可能！
ガラス基板に付着した接着剤や油脂、コンタミ洗浄ができ、汚れの状況に応じて膨潤槽を接続し、ロボットによる自動供給もできます。 洗浄方法は、ブラシ洗浄となり、ナイロンブラシや金属ブラシなど各種ご用意しております！ 洗浄液はエアロピュア製の専用洗浄液を使用できます。
基本情報
【仕様】 ・メーカー：エアロピュア ・基板サイズ：MAX100mm□までの各種 ※大型基板の場合はご相談ください。 ・洗浄時間：5～10sec/ケ 連続洗浄可能 ・電源：AC100V ・洗浄ローラー：φ25～φ50mm ・防爆仕様：安全防爆仕様、N2パージ等必要です。 ※完全防爆仕様の場合、オールエアー制御も可能です。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
・ガラス基板の洗浄
