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インテグレータレンズ

プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも用いられています！

「インテグレータレンズ」は、照射面への照度の均一性を高めるために用いるレンズ(光学系)の総称です。代表的なものにフライアイレンズ(フライアイインテグレータ)、ロッドレンズ(ロッドインテグレータ)があります。プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも用いられています。【代表的なレンズ】 ■フライアイレンズ(フライアイインテグレータ) ■ロッドレンズ(ロッドインテグレータ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.natsume-optics.co.jp/glossary/integrat…

基本情報

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用途／実績例

【用途】 ■プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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