プロキシミティ露光とは？ | 夏目光学 - Powered by イプロス

プロキシミティ露光とは？

汚れや傷がつきにくい！レジストに紫外線を照射し、パターンを形成

プロキシミティ露光とは、半導体や液晶などの製造に使われる技術の一つです。レジスト(光感性樹脂)に紫外線を照射し、パターンを形成します。その際、レジストとフォトマスク(パターンを形成するための板)の間に微小な隙間を設け、レジストに光を届けることで、細かなパターンを形成します。【メリット】 ■マスクとワークが接触しないため汚れや傷がつきにくい ■フォトリソグラフィーと比較してパターン形成に必要な時間が短くて　済むため生産性が高い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.natsume-optics.co.jp/glossary/%e3%83%9…

基本情報

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用途／実績例

【用途】 ■半導体や液晶などの製造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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