EUVとは？ | 夏目光学 - Powered by イプロス

夏目光学株式会社.png

EUVとは？

主に半導体リソグラフィ用途に13.5nmのEUV光源が用いられます！

EUVは、極端紫外光のことで、Extreme Ultravioletの略称です。主に半導体リソグラフィ用途に13.5nmのEUV光源が用いられ、従来のArFエキシマレーザー(193nm)に比べより微細なパターンが描写可能です。 EUVは物質への吸収率が極めて高く透過型の光学系(レンズ)を使用できないため、反射光学系(ミラー)を用いる必要があります。【特長】 ■物質への吸収率が極めて高い ■透過型の光学系(レンズ)を使用できないため、反射光学系(ミラー)を用いる必要がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.natsume-optics.co.jp/glossary/euv/

基本情報

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

詳細はお問い合わせください

納期

詳細はお問い合わせください

用途／実績例

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ（4）

カタログをまとめてダウンロード

夏目光学株式会社　会社案内

会社紹介資料

このカタログにお問い合わせ

DUV/UV用オプティクス製品

製品カタログ

このカタログにお問い合わせ

加工能力向上、コスト削減に貢献　【ビームシェイパー】

製品カタログ

このカタログにお問い合わせ

複合光学素子による屈折型高効率ビームシェイピング

技術資料・事例集

このカタログにお問い合わせ

取り扱い会社

夏目光学株式会社

夏目光学株式会社

特設サイト公式サイト

電話番号・住所

夏目光学株式会社は、光学専門メーカーとして光学素子『シリンドリカルレンズ』や『球面レンズ』『プリズム』などを取り扱っております。また、この他にも各種画像処理装置の開発・設計・販売を行っております。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

製品・サービス一覧 (125)

おすすめ製品

【ヒカリの豆知識】

【ヒカリの豆知識】シリンドリカルアレイを用いた1方向均質化

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

臨界角とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

絞りとは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

結晶方位とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

紫外線(紫外光)とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

石英ガラスとは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

球面収差とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

画角とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

熱レンズ効果とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

焦点距離とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

焦点深度とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

消光比とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

波長(光の波長)とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

歪曲収差とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

放物面鏡とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

投影露光とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

干渉(光の干渉)とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

干渉計とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

屈折(光の屈折)とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

屈折率とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

大気散乱とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

回転体X線ミラーとは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

回折(光の回折)とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

回折光学素子とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

吸収(光の吸収)とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

合成石英とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

可視光線とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

反射防止膜とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

単色光とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

半導体レーザーとは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

励起とは？

夏目光学株式会社

【ヒカリの豆知識】

分解能とは？

夏目光学株式会社