【低温プラズマ発生器応用例】高密度低温プラズマ
高周波化を実現！高密度低温プラズマ応用に好適な発生器をご紹介
高密度低温プラズマ応用に向けた、低温プラズマ発生器の事例を ご紹介いたします。 小型卓上型から大電力ラック型まで幅広く対応しており、高周波印加により 大きなプラズマを安定して発生可能です。 新次元の低温プラズマを切り開き、高dV/dtを有する矩形波パルス発生にも 対応可能です。 【製品特長】 ■小型卓上型から大電力ラック型まで幅広く対応 ■高周波印可により大きなプラズマを安定して発生可能 ■高dV/dtを有する矩形波パルス発生にも対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【製品仕様】 ■定格出力電圧：±5〜±20kV ■最大出力電力：〜4kW ■パルス連続繰返し数：最大500kHz(1Mpps) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
取り扱い会社
ネクスファイ・テクノロジー株式会社は、2021年7月に創業し、 高電圧機器の製造・販売を行っています。 耐電圧1kVクラスのSiCトランジスタを独自技術により直並列接続した 「高電圧スイッチングモジュール」や「高電圧直流電源」などをご用意。 パワーデバイスであるSiCデバイスを活用した独創的・革新的技術により、 未来の豊かな社会づくりに貢献します。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。