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真空設備用グリース｜製品情報｜株式会社ニッペコ（NIPPECO）

関連製品情報

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  【コンタミ低減】アウトガスが発生しにくい高真空・耐熱用グリース

  歩留まりに貢献、真空環境下の潤滑に特化！半導体製造装置内のコンタミを低減！

  【その他の特長】 ■摩擦・摩耗の低減による部材の長寿命化 ■幅広い温度領域で使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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  極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

  極高真空下（10-8Pa以下 ）にてアウトガスが発生しにくいグリースです。

  【用途】 極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装置 • クリーンルーム内の製造装置