【オーダーメイド 専用機製造事例】アニール装置
シリコン薄膜をアニール(焼く)する装置の小型化・軽量化を実現した事例をご紹介
半導体業界へ「アニール装置」を改造した事例をご紹介いたします。 既存機の電気設備の老朽化の為のリニューアルが必要でした。 チャンバー内を低真空にして窒素を注入して搬送させ、アニールする機械で ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持し、ストッカー部 のみ取出し可能とする構造にすること、掃除用マドを配置し掃除しやすく したいとのご要望がありました。 既存機の改造で小型化、軽量化を実現し、要望にお応えしました。 【事例概要】 ■課題 ・ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持する ・ストッカー部のみ取出し可能とする構造にする ・掃除用マドを配置し掃除しやすくする ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
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価格帯
納期
用途／実績例
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