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高速切断を実現可能とする両端支持機構を備えた超音波スピンドルを搭載し、生産性向上や新たな機能を追加した超音波カッティング装置！！

【仕様】 ■対応ワークサイズ：6、8インチ（共用） ■ブレード刃高：最大12mm (切断上限 10mm) ■洗浄方式：2流体JET+高圧JET ■搬送機構：自社製搬送機構 ■装置仕様：フルオート ■オプション：インラインドレス、プリカット機能、ブレードツルアー ■常時破損検知機能搭載 ■上位通信対応可能 ■寸法：W1,200×D1,300×H1,850mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

【仕様】 ■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ■スカラロボットによるワークの自動搬送 ■薬液昇温機能有り ■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ■チャンバー内部の自動クリーニング機能 ■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください） ■裏面回り込み防止機能

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

【仕様】 ■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ■スカラロボットによるワークの自動搬送 ■薬液昇温機能有り ■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ■チャンバー内部の自動クリーニング機能 ■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください） ■裏面回り込み防止機能 ■最大4チャンバーまで増設可能 ■上位通信対応可能

ジェット洗浄タイプ（非接触式）と、スクラブ洗浄タイプ（接触式）の2種類の仕様から選べるダイシングリング（フレーム）洗浄装置

■対応ワークサイズは、6～12インチ（マルチサイズにも対応します。お問合せください） ■ジェット洗浄タイプは、有機溶剤を使用した処理も可能 ■スクラブ洗浄タイプは、汚れの程度や、フレーム材質などにより、スクラブ材の仕様を変更することが可能 ■テープ付きのダイシングフレームのテープ剥がし機能有り（オプション） ■上位通信対応可（オプション）

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】

【仕様】 ■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ■ワークは作業者による手載せ ■薬液昇温機能有り ■防爆ガラス等安全仕様有り ■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください）

断面観察試料作製の効率化を実現！イオンミリング前処理用の超音波カッティング装置、研磨機からの置き換えも可能　＊デモテスト可能

【仕様】 ■対応ワークサイズ：φ１００ｍｍ 、□７５ｍｍ ■切断可能高さ：９ｍｍ ■装置サイズ：６４０Ｗ ｍｍ × ９００Ｄ mm × １３５０Ｈ m 　　（ 突起部および警告灯 、モニタ８０Ｗｍｍ、３５０Ｈｍｍ 含まず） ■装置重量：３８０ｋｇ

断面観察試料作製の効率化を実現する。断面研磨機に代わる高効率な 『超音波カッティング装置　CSX-100Lab』

【仕様】 ■対応ワークサイズ：φ100mm 、75mm角 ■切断可能高さ：９ｍｍ ■装置サイズ：640W mm × 900D mm × 1,350H m 　　（ 突起部および警告灯、モニタ80Wmm、350Hmm 含まず） ■装置重量：380kg