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シリカコートであるトフマクと、シリコーンもしくはフッ素系の非粘着層を有する複合膜とすることで、高い摩擦耐久性、離型性を実現！

トフマクは石英に匹敵する硬さ、耐薬品性などの性能を持つ非常に硬い膜で、皮膜を複合化する事で非粘着性も有する事ができます。 トフマク前駆物質の有機溶媒溶液を塗布液として用い、大気中で焼成することにより、大気の水分や酸素と反応し、高純度シリカ（アモルファスSiO2）膜が得られます。 塗布後溶剤が揮発すれば速やかに硬化し、比較的低温（１５０℃程度）の処理で、石英に匹敵する性質の硬い皮膜が得られます。 非常に薄い膜厚（1μｍ以下）が得られます。 3層目の非粘着層は、シリコーン系のSタイプ、Tタイプ、フッ素系のFタイプ（PFAS対応）の3種からお選びいただくことができます 昨今では半導体製造装置部材へのコーティング実績が御座います。