![金属射出成形部品[MIM]](https://image.mono.ipros.com/public/premium/image_category/431/1474640/IPROS349882292332912939.jpg?w=140&h=140){kind=small}
スラリー液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ
金属汚染の心配なし！接液部以外も金属部品を一切使用しておりません。
CMP用スラリー対応型 (酸化膜スラリー・メタル用スラリー)
基本情報
【特長】 ◆ 独自にデザインされたラウンドベローズによりスラリーのせん断を減少。 ◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。 ◆ 接液部にOリングを使用していない。 ◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。 ◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。 ◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。 ◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。 ◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の３機種。
価格帯
納期
型番・ブランド名
ASTIPURE2 A2SY
用途／実績例
【用途】 ・半導体プロセスに使用される高純度薬液の移送。 ・循環、濾過、薬液供給システムにおける流量制御。 ・クリーンルーム内での安全な薬液移送。 ・腐食ガスなど悪環境下での薬品処理。 ・化学薬液の注入、サンプリング等。 ・医薬品の定量注入。 ・移送液量の可変制御。
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| A2SY | A2SY1 F8, A2SY2 F12, A2SY3 F16 |
カタログ（1）
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取り扱い会社
当グループは、自動車関連製品（ピストンリング、バルブシート、その他自動車関連製品）と舶用・その他製品の製造、販売およびこれらに附帯する事業を行っています。当社の製品は、たしかな技術に裏打ちされた品質と豊かなラインナップで、さまざまなタイプのエンジンに採用されています。自動車・船舶用の製品はもちろん、小型で複雑な形状を実現できるMIM=金属射出成型部品や、AGV等に最適なアキシャルギャップモータ並びにモータコア(圧粉磁心)・生体適合性の高いチタン合金(NiFreeT)・医療機器部品（歯科用インプラント）なども取り扱っております。
