![金属射出成形部品[MIM]](https://image.mono.ipros.com/public/premium/image_category/431/1474640/IPROS349882292332912939.jpg?w=140&h=140){kind=small}
ED SCOPE Til イーディー スコープ タイル
見えない、見にくいナノサイズの欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化する新感覚スコープ
・目視検査が困難なウエハ内外部の欠陥を誰でも簡単に定量的に短時間で検査・評価することが可能。 ・特殊光学系技術と特殊画像処理技術のコラボにより欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化。 ・深さ（Ｚ方向）はナノレベル、視野範囲（ＸＹ方向）はマクロレベルの観察が可能。 ・スクラッチ、クラック、ディンプル、ウォーターマーク、スリップ、ソーマーク、ボイド、異物...等の検出。 ・自動タイリングステージによりΦ100mm～Φ300mmウエハに対応。
基本情報
◇ 原理：光学・非接触 ◇ 1画面観察時間：約10秒 ◇ 製品目的：欠陥可視化 ◇ 表示：画像表示 ◇ 操作：簡易 ◇ 観察：透過試料（内部・表面・裏面）、反射試料（表面） ◇ 視野範囲：34×28mm～100×84mm ◇ 被写界深度：透過試料（約３００ｍｍ） ◇ 反射試料：（約１ｍｍ） ◇ 分解能：（X・Y）150 nm～ ◇ 分解能：（Z）5 nm～ ◇ 検査項目：表面検査・内部検査 ◇ 導入：現場検査・品質・開発、計測器との併用 ◇ 環境： ノーマル ◇ メンテナンス：フリー ◇ 消耗品：ナシ
価格帯
納期
型番・ブランド名
ED SCOPE Til イーディー スコープ タイル
用途／実績例
◇ Si, SiC, GaN, GaAs ウエハ等の受入検査。 ◇ 半導体デバイスの製造工程での検査。 ◇ Si, SiC, GaN, GaAs ウエハ等の開発。
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取り扱い会社
当グループは、自動車関連製品（ピストンリング、バルブシート、その他自動車関連製品）と舶用・その他製品の製造、販売およびこれらに附帯する事業を行っています。当社の製品は、たしかな技術に裏打ちされた品質と豊かなラインナップで、さまざまなタイプのエンジンに採用されています。自動車・船舶用の製品はもちろん、小型で複雑な形状を実現できるMIM=金属射出成型部品や、AGV等に最適なアキシャルギャップモータ並びにモータコア(圧粉磁心)・生体適合性の高いチタン合金(NiFreeT)・医療機器部品（歯科用インプラント）なども取り扱っております。
