半導体関連装置 「レジスト液加温塗布装置」
純水1/4RC 圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置
基本情報
【標準仕様】 ○ユ－ティリティ 純水1/4RC 圧縮空気1/4RC 排水1/4RC ○外形寸法 W800×H1500×D500 ○電源 AC100V 10A ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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