インライン型膜厚計の分析例
インライン型膜厚計の分析例について紹介します。
基本情報
【特徴】 今回作製した蛍光X線膜厚計を成膜装置に装着して性能評価を行った結果、 ○搬送に伴うフィルムの位置変動による誤差は、レーリー散乱線とのX 線強度比をとることで 補正が可能であることがわかりました。 ○Cu、Ni 及びCr 膜の検出下限は、Cu が1.5nm であり、Ni 及びCr は、1nm 以下と 高感度で得られました。 ○測定精度は静的精度及び動的精度ともCV=5%以下であり、極薄膜を高感度で 測定することが可能でした。 ○以上から、本膜厚計は、極薄膜厚のインライン測定に十分適用可能であると考えられます。 ○また、膜厚測定のみならず、めっき液の分析等にも適用可能と考えられます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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取り扱い会社
アワーズテック株式会社はエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の専門メーカーです。エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は非破壊で迅速に現場での元素分析が可能です。現在土壌汚染調査、RoHS指令対応分析、コンクリートの塩害調査、インライン分析、考古学・文化財分析などあらゆる分野で活用しています。 当社はこの技術に特化し、Ｘ線要素技術を駆使した小型・軽量・高性能な装置造りに専念しております。また、お客様のニーズをお聞きし、ニーズに応じた製品をお客様と一緒に創造します。 <当社のエネルギー分散型蛍光X線分析装置の特徴> ■液体窒素が不要である。 ■測定時間が従来品に比し短い。 ■半導体検出器ＳＤＤの採用により高分解能、高計数率を実現。 ■液体、固体、ゾル、ゲルなどすべて非破壊で測定できる。 ■設置が容易である。(ＡＣ１００Ｖ-５Ａの電源のみ） ■装置がコンパクトである。 ・特別仕様の製品に関してもご相談に応じます。 ・「誠心・誠意」をモットーにしていますのでお気軽にご連絡ください。
