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バイポーラパルス電源(真空管スイッチ方式)

真空管での安定放電を実現

両極とも真空管を採用している為、安定したプラズマ生成が可能になりました。

関連リンク - http://pekuris.co.jp/product/category.php?c=1

基本情報

・高耐久性の真空管採用により、高速立上がり、マイクロパルスが可能になりました。 ・両極性各々のパルス制御が可能です。 ・もちろん片極性での使用も可能です。

価格情報

仕様により異なりますので、お問合せ下さい

納期

用途/実績例

・イオン注入用装置電源 ・パルスバイアス用電源 ・絶縁破壊試験用電源 ・真空プロセス用電源

ラインアップ(3)

型番 概要
PVB-20K05A 出力電圧:2~-20kV,出力電流:0~5Ap,周波数:SINGLE~5kHz,パルス幅:1~20μs,DUTY:2%以下,立ち上り時間:1μs以下,立ち下り時間:負荷インピーダンスによる,サイズ:600(W)×730(D)×1680(H)
PVB-20K10A 出力電圧:2~-20kV,出力電流:0~-10Ap,周波数:SINGLE~5kHz,パルス幅:1~20μs,DUTY:2%以下,立ち上り時間:1μs以下,立ち下り時間:負荷インピーダンスによる,サイズ:600(W)×730(D)×1680(H)
PVB-20K50A 出力電圧:2~-20kV,出力電流:0~50Ap,周波数:SINGLE~5kHz,パルス幅:1~20μs,DUTY:3%以下,立ち上り時間:(-)200ns・(+)1μs以下,立ち下り時間:負荷インピーダンスによる,サイズ:850(W)×940(D)×1730(H)

取り扱い会社

長年培ってきたパルス電源技術を応用し、 新開発の各種プラズマ制御用電源や 表面処理装置の開発で、必ず御社のニーズに お答えします。

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