SEMI F47/F42:電圧サグイミュニティ
是正対策や対策部品紹介までコンサルティング、試験が適合するまでフルサポート
QSESでは、近年、大手半導体メーカーへ装置を納入する時の必須項目と なりつつある『F47/F42 (Voltage sag immunity-電圧降下)試験』を、 いち早く対応し試験評価サービスを行っております。 「SEMI F47」はSEMI規格の中でEMCについて定められた規格で、中でも イミュニティ試験の項目である電圧ディップ・短時間停電について規定。 EMC法規制がない地域でも、エンドユーザの要求によっては、「SEMI F47」の 合格レポートの提出が要求される場合があります。 【特長】 ■SEMI F42:半導体プロセス装置の電圧サグに対する感受率の試験方法 ■SEMI F47:半導体 プロセス装置の電圧サグイミュニティのための仕様 ■電源容量の大きい装置にも対応 ■対策からレポート作成までをフルサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【SEMI F47/F42 (Voltage sag immunity)試験とは?】 SEMI F47/F42は、半導体プロセス装置向けの規格の一つであり、 半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が 突然の電圧降下(半サイクルから数秒)を起こした状態をシミュレートし、 その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。 エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、 自動検査装置等のプロセス装置全てに適用されます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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1992年、当社は原子力プラントの安全管理・品質管理に従事していたエンジニア達によって、工業機械の安全性および品質検査を行う会社として設立されました。翌1993年にはSEMIガイドライン適合評価のビジネスに着手しています。 その後、SEMIビジネスの経験とエンジニアリング・セミコンダクタ―フィールドで培ったノウハウを基にして 1、第三者機関としての安全評価業務(SEMI S2/S8、CEマーキング等) 2、製品ドキュメントの作成・翻訳 3、警告ラベルの作成・販売 といった半導体製造装置の安全性に関わるトータルサポートを行っています。 当社は設計の段階から製品の安全性を試験・評価し、安全性に対するお客様の多様な要望に『One Stop』でお答えします。その試験項目は機械・電気・EMC(電磁両立性)・F47/F42評価試験・ケミカル(トレーサーガステスト等)・圧力・環境と多様な範囲に及びます。 また製品から排除できない危険エネルギーに対しては、警告ラベルとドキュメンテーションでフォローアップいたします 安全審査・警告ラベルから製品マニュアルを含めた一貫したサービスをご提供しています