SEMI S14：火災リスクアセスメントと軽減の安全ガイドライン
半導体製造装置に対する火災リスクアセスメントと軽減のための安全ガイドライン
『SEMI S14』は、装置及び製品に対する火災および燃焼副生成物のリスクを アセスメント、軽減する上で助けとなる検討事項を提供します。 資産の保護に適用し、人間の保護には適用しません。 「SEMI S10」リスクアセスメントにおいて、装置の火災リスクアセスメントは 「SEMI S14」に譲っています。一方、リスクの見積りの手法は、SEMI S10の 方法を用いることが推奨されています。 大前提として、火災の3要素として燃料、酸化剤、発火源をあげています。 これら3要素のうち1つ以上を除去すれば、火災リスクは除去できます。 燃料、酸化剤、発火源について、リスクアセスメントを実施する上で 考慮すべき事項につき詳細に記述をしています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
1992年、当社は原子力プラントの安全管理・品質管理に従事していたエンジニア達によって、工業機械の安全性および品質検査を行う会社として設立されました。翌1993年にはSEMIガイドライン適合評価のビジネスに着手しています。 その後、SEMIビジネスの経験とエンジニアリング・セミコンダクタ―フィールドで培ったノウハウを基にして １、第三者機関としての安全評価業務(SEMI S2/S8、CEマーキング等) ２、製品ドキュメントの作成・翻訳 ３、警告ラベルの作成・販売 といった半導体製造装置の安全性に関わるトータルサポートを行っています。 当社は設計の段階から製品の安全性を試験・評価し、安全性に対するお客様の多様な要望に『One Stop』でお答えします。その試験項目は機械・電気・EMC(電磁両立性)・F47/F42評価試験・ケミカル(トレーサーガステスト等)・圧力・環境と多様な範囲に及びます。 また製品から排除できない危険エネルギーに対しては、警告ラベルとドキュメンテーションでフォローアップいたします 安全審査・警告ラベルから製品マニュアルを含めた一貫したサービスをご提供しています
