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温水循環装置

高性能ポンプの採用により、負荷側温度を常に均一に制御できます。昇温効率が高く、昇温時間が大幅に短縮できます。 CVD装置、ロール・ジャケット・各種チャンバーなど、多様な用途の温度管理に対応可能です。