スパッタリング用 DC電源『GEXUS』
進化する高性能、高信頼性！多段インバータ方式を採用し極めて少ないアークエネルギーを実現したDC電源
『GEXUS』は、多段インバータ方式を採用し極めて少ない アークエネルギーを実現したスパッタ用直流電源（DC電源）です。 出力1.5kW～20kWまでの幅広いラインナップがございます。 複数台のタンデム運転により最大240kWの大出力化が可能です。 また、30W～の低出力を実現した、3kWスパッタ用直流電源 「GEXUS-H3A」もございます。 半導体、パワーデバイス、SiC、ほか各種の成膜用にご使用いただけます。 【特長】 ■高信頼性、低故障率 ■オプションで高速アーク消弧機もラインナップ ■アーク時高速遮断(1us以内遮断) ■低アークエネルギー(1mJ/kW未満) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【スパッタ用直流電源 GEXUSの特長】 ■GEXUS-1.5 出力1.5kW、極薄型(1U：43.5mm) ■GEXUS-H3A 出力3kW、低出力：30W～に対応。操作パネルでのLocal操作が可能 ■GEXUS-15 出力15kW。6kW、10kWタイプもラインナップ。Local操作Contオプション有 NRTL対応、CE対応などの規格対応機オプション有 ■GEXUS-20 出力20kW、タンデム運転による大出力化（Max240kW）に対応。 ■GEXUS-ARC 高速アーク消弧機。高さ1U (43.5mm) を実現。同形状にて2ch接続可能なラインナップ有。 当社直流電源の出力に並列接続するだけの簡単な取り付け作業で設置可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
GEXUS
用途／実績例
【用途】 ■半導体成膜 ■スパッタリング 半導体、パワーデバイス、SiC、ほか各種成膜 ■バイアス ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
