成膜(スパッタリング)用電源
低故障率で高信頼性！オプションでアークサプレッサがあります
当社で取り扱っている「成膜(スパッタリング)用電源」について ご紹介いたします。 ユニット単体出力は1.5kW～20kWがあり、マスタースレーブ運転により 最大300kWまで対応可能。 また、アーク時高速遮断、低アークエネルギーとなっており、 オプションでアークサプレッサもあります。 【特長】 ■高信頼性(低故障率) ■オプションでアークサプレッサ有 ■アーク時高速遮断(1us以内遮断) ■低アークエネルギー(1mJ/kW未満) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】 ■出力電圧-800V ■出力電流40A ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体成膜用電源 ■スパッタリング用電源 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
