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成膜(スパッタリング)用電源

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成膜(スパッタリング)用電源

低故障率で高信頼性！オプションでアークサプレッサがあります

当社で取り扱っている「成膜(スパッタリング)用電源」について ご紹介いたします。 ユニット単体出力は1.5kW～20kWがあり、マスタースレーブ運転により 最大300kWまで対応可能。 また、アーク時高速遮断、低アークエネルギーとなっており、 オプションでアークサプレッサもあります。 【特長】 ■高信頼性(低故障率) ■オプションでアークサプレッサ有 ■アーク時高速遮断(1us以内遮断) ■低アークエネルギー(1mJ/kW未満) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.origin.co.jp/product/detail/?product_i…

基本情報

【仕様】 ■出力電圧-800V ■出力電流40A ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

納期

用途／実績例

【用途】 ■半導体成膜用電源 ■スパッタリング用電源 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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当社は、電源機器や半導体デバイス、精密機構部品、システム機器及び 合成樹脂塗料の製造販売を行っている企業です。 精密機構部品、塗料、電源装置、接合・塗布/貼合 装置・ギ酸リフロー、 パワー半導体の5事業体制による強みを活かし、お客様との コミュニケーションを大切にする「提案型の製品開発」を実施。 また、開発の過程でコンサルティングや対話を通して、お客様が要請する 機能を満たすに留まらず、付加価値をつけた、新しい満足を提供いたします。

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