半導体製造関連装置向けヒーター
ガス固形化トラブルを解決！高性能マイカヒーターによる昇温改善事例
半導体製造関連装置を手掛ける企業様へ、高ワット密度・高速昇温の マイカヒーターによる加熱性能の最適化を行った事例をご紹介します。 同社の装置内で使用するガスが処理工程中に低温環境で固形化し、装置の 安全稼働や処理制度に影響を与えていました。既存のヒーターでは必要な 温度に達せず、高頻度でのメンテナンスが必要となっておりました。 今回の対策により、装置内部でのガスの固形化が大幅に軽減され、 これまで課題となっていたメンテナンス頻度が著しく低下。加えて、 マイカヒーターによる高速な昇温により、処理工程の立ち上がり時間が 短縮されました。 【事例概要】 ■背景：既存ヒーターではガスの固形化を防ぎきれない ■解決方法：高ワット密度・高速昇温のマイカヒーターによる加熱性能の最適化 ■効果：安定稼働の実現と装置効率の向上に貢献 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
株式会社サカエは、ヒーター機器をはじめ、医療用検査装置、 臨床検査薬などの製品を取り扱っている会社です。 「シーズヒーター」や「カートリッジヒーター 」など、種類豊富に ラインアップしております。 独自の発想力と高い技術開発力により、あらゆるニーズにお応えします。
