白色光干渉計 IMS5400-TH
サブマイクロメートル精度で安定した厚み測定を行うための白色光干渉計です
基本情報
(仕様) レンジ : 0.035~1.4mm ※ただし、センサから45mm±3.5mmの範囲にターゲットがあること 出力 : アナログ : 4-20 mA、0-10 V デジタル : RS422/EtherCAT/Ethernet 分解能 : <1nm 精度 : < ±100 nm 応答性 : 100 Hz~6 kHz 温度 : 5~70 ℃ 測定体 : 薄い層、ガラス、フィルムなど
価格帯
納期
用途/実績例
距離変動や振動している計測対象のナノメートル精度の厚み測定 反射防止コーティングされたガラスも安定して計測可能
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