高速検査を実現『QPM光学検査装置』
ナノオーダーの表面解析検査システムを量産へ！白色干渉計レベルの分解能を実現します
『QPM光学検査装置』は、半導体ウェハやレーザーパターニングプロセス等の 高精度な品質検査に対応するシステムです。 ワークを手動で供給する半自動タイプや、ラインに対応する量産タイプ など、ご要望に合わせたシステム構想が可能。 現在、システム化に向けて開発を加速中です。テスト分析も随時実施して おりますので、まずはお気軽にご相談ください。 【システム構想(半自動タイプ)】 ■ワーク手動供給 ■Φ300mmウェハOK ■小片ウェハは、治具実装にて対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
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価格帯
納期
用途／実績例
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