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半導体製造向けFOUPガスパージ制御に最適！センシリオンの高精度マスフローコントローラー　「SFC6000D」

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センシリオンの「SFC6000D」は、FOUP（Front Opening Unified Pod）用途に最適なマスフローコントローラーです。 半導体製造では、極めて高いアスペクト比を持つ3次元構造が求められ、精密なガスパージ制御が不可欠です。SFC6000Dは、正確で安定したガス流量制御を実現し、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。 ■主な特長 ・高精度・高速応答：保護用不活性ガスの流量を正確に制御 ・優れた再現性と長期安定性 ・マイコン不要：校正済みデジタルセンサーがバルブを直接制御 ・通信インターフェース：RS485、Modbus RTU、I2C、アナログ電圧対応 ・最大10 barの耐圧設計：5/20/50 slmモデルに対応 ・湿度耐性：非凝縮湿度環境でも安定動作 ■対象 ・半導体製造装置メーカー ・ウェーハ搬送装置メーカー ・クリーンルーム関連機器メーカー 詳細はお問い合わせ、または、資料ダウンロードをご利用ください。

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