マスフローコントローラー『SFC5400』
本体ボディーは金属製!バルブのないバージョンもご用意しております
『SFC5400』は、様々なインターフェースと様々な流体接続ができる 多用途マスフローコントローラーです。 50sccm~200slmの最大流量を測定でき、センサー信号は、チップ上で校正、 温度補償されたデジタル信号に直接変換。 また、複数のガス校正データを1つのデバイスに保存でき、動作中の ガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックする こともできます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量:1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm ■フルスケール流量:50, 100, 200 and 500 sccm ■精度:0.08% FS or 0.8% SP ■最高使用圧力:5bar ■キャリブレーション:Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート:Swagelock, VCO, VCR, Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【その他の仕様】 ■供給電圧:14 - 26.4V ■平均供給電流:50000 uA ■最大供給電流:320000 uA ■インターフェイス:Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485 ■サイズ (LxWxH):101.1 x 24.4 x 91mm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途/実績例
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