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バリア性に優れるふっ素ポリマーチューブです。 内層にはふっ素ポリマーPFAを、外層にはバリア性ふっ素ポリマーを使用し、潤工社の精密多層成型技術により信頼性の高い2層構造のチューブに仕上げました。 接液部の内層は半導体用PFAを使用し、半導体配管用途での高い基本特性（純粋性・耐薬品性・非粘着性・耐熱性）を備えています。 バリア性ふっ素ポリマーは酸（塩酸・硝酸等）・アンモニアのバリア性に優れ、半導体製造プロセスにおいて特に問題となりやすい塩酸ラインにおいて、従来のPFAチューブ配管に比べ酸の透過を抑え、周辺設備への悪影響を低減します。また長期に渡り粒体の透視性を維持できます。 機械特性は従来のPFAチューブと同等です。 原料投入から成形・梱包まで一貫して管理されたクリーン環境で製造しています。

内層にふっ素ポリマーPFAを、外層にバリア性ふっ素ポリマーを使用したハイブリッドチューブです。 接液部の内層は半導体用途で使用される高純度PFAを使用しています。 外層のバリア性ふっ素ポリマーは、酸（塩酸・硝酸）・アンモニア・水蒸気の透過を抑制します。 塩酸配管において、従来のPFAチューブに比べ酸の透過を抑え、周辺環境・設備への悪影響を低減します。 薬液の浸透によって引き起こされるブリスタの発生、白化を抑制し透視性を改善できます。 耐薬品性・耐熱性・純粋性・非粘着性・機械特性は従来のPFAチューブと同等です。 原料投入から成形・梱包まで一貫して管理されたクリーン環境で製造しています。

ジュンフロン　チューブ

半導体・液晶製造装置用チューブ 太陽電池パネル製造装置用チューブ 薬液供給・洗浄装置用チューブ ケミカルプラント用チューブ