エアスピンドルユニット
業界トップクラスの低NRRO(非繰返し回転振れ精度)に 新機能クラッシュプルーフを搭載!
基本情報
【特長】 ● モータ、エンコーダをビルトインした、コンパクト設計を実現 ● 高精度静圧エアベアリングを採用し、低NRRO・低摩擦損失・低発熱を実現 ● 完全非接触のため、清浄なエアを供給することで半永久的に精度を維持 ● スロットレスモータを採用し、これまで以上に高い回転精度を実現 ● クラッシュ(焼き付き)防止機能“クラッシュプルーフ”を搭載
価格情報
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納期
用途/実績例
ハードディスク検査装置、ウエハ検査装置、DVD製造装置にご利用いただけます。