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当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0.00583 μmという結果となりました。 また、SiC単結晶,SUS316Lのポリシング面の測定では、SiC単結晶 Sa 0.000458 μm、SUS316L Sa 0.000302 μmという結果となりました。 【白色干渉顕微鏡 特長】 ■非接触＆面測定 ・測定対象材質を問わない ・3D計測で面粗さ・線粗さに対応 ■広い測定範囲＆高分解能測定 ・mm単位を超える広い面内測定範囲 ・高さ分解能0.01nm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事例概要】 ■多結晶セラミックス(ワイヤースライス面からポリシング面) ・スライス面：Sa 0.8446 μm ・ラッピング面：Sa 0.2506 μm ・ポリシング面：Sa 0.00583 μm ■SiC単結晶,SUS316L(ポリシング面) ・SiC単結晶：Sa 0.000458 μm ・SUS316L：Sa 0.000302 μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。