超音波小型液体流量計『SLF-100』
半導体装置の純水・薬液の流量管理に!配管を切断する必要のないクランプオン式センサ採用
基本情報
【センサの仕様(一部)】 ■型式:SLT-12、14、15型 ■構造:クランプオン式 ■材質:PVC、PTFE ■測定対象:純水、薬液(別途ご相談) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■半導体装置の純水・薬液の流量管理 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。