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高反射@193nm IBSコーティングミラー・モニター募集

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リトアニアのIBSコート光学系メーカー・OptomanがArFエキシマレーザー(193nm)向けのIBSコーティングミラーを開発しました。入射角45°で>98%の反射率を実現しました。Optomanは本製品をモニターしてくれる方を募集しています。サイズ・入射角は応相談です。以下の点についてレポートしていただければ無償でサンプルを提供します。 ◆193nm IBSミラー・モニター条件◆ 以下についてフィードバックしてください。 ○ 耐久性 ○ 反射率 ○ その他気になった点 不明な点等ございましたらお問い合わせください。どうぞよろしくお願いいたします。

ArFエキシマレーザー用高反射ミラー

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