半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ
クラス100のクリーンルーム内で組立を実施！ 特別に設計された半導体用ダイアフラムポンプ
半導体用超高純度ダイアフラムポンプ「SEMIシリーズ」は、半導体製造用に特別に設計製作されています。 製品の組立はクラス100のクリーンルーム内で行っており、全ての部品を純水で洗浄し、純水にてテストを行い、最後にプラスチックフォイルに密封され出荷されます。 全ての接液部品をPTFE/TFMで製作した「SEMI T」と「SEMI H」。 接液部品がUPPE（超純度ポリエチレン）製の「SEMI E」。 SUS316L製の「SEMI S」の4タイプをご用意しております。 【特長】 ○金属を一切使用していない ○接液部にO-リングを使用していない ○駆動エア部に潤滑油は不使用 ○最高使用温度200℃ 〇異なるアプリケーションに対応する為、異なる材質で作成された4種類のポンプ 〇オプションにて、脈動吸収ダンパー、ダイアフラム破損検知、ストロークカウンター、Flareteck接手、VCR接手 ○保守修理が極めて簡単 →他の競合製品に比べて補用部品点数が40％と少なく経済的 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【製作機種概要】 [機種：SEMI T] ○材質 →センターハウジング：TFM/PTFE →サイドハウジング：UPPE ○口径：10，20，50，100 ○流体：酸及び苛性 [機種：SEMI H] ○材質 →センターハウジング：TFM/PTFE →サイドハウジング：PTFE ○口径：10，20 ○流体：高温度の酸及び苛性 [機種：SEMI E] ○材質 →センターハウジング：UPPE →サイドハウジング：UPPE ○口径：10，20，50，100 ○流体：スラリー [機種：SEMI S] ○材質 →センターハウジング：SUS316L →サイドハウジング：SUS316L ○口径：20，50 ○流体：溶剤 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
DELLMECO
用途／実績例
・酸、苛性 ・高温の酸、苛性 ・スラリー ・溶剤 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
カタログ（2）
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取り扱い会社
サニー・トレーディングは1961年の創立以来、一貫して自動制御・省力化機器の輸入販売を専業とし、 欧米の最新で高性能な機械器具類を積極的に国内に紹介して参りました。 当社の取扱商品である生産材機械用コンポーネントは、機械・電気・化学等の工業界で広く採用され、 また全国の官公庁・大学・研究機関・航空宇宙産業等にも豊富な納入実績を誇っています。 納入された部品は機械に組み込まれて大きな生産設備となって完成しますが、そのためには製品の適合性の確認が欠かせません。 当社は、海外メーカーと納入先顧客様との間に立って、仕様確認のための技術ノウハウと時間を投入し、 適切な製品をご提供することを常に心がけております。 また、納入した製品の立会検査からメンテナンス等のアフターフォローまで責任をもって対応いたします。 ただ物を輸入して販売するだけの一般の商社とは異なり、 当社はエンジニアリング機能をも有する貿易会社であると自負しているような次第です。 メーカーの手で機械として製品化され、更にそれらは半導体をはじめ、 鉄鋼・造船造機・航空宇宙・パッケージング・物流・ケミカル等の基幹産業の分野で活躍しております。
