フッ素樹脂コーティング【半導体製造装置向け】
薬液や腐食性ガスから基材を守り、洗浄性や付着防止など様々な装置に!
基本情報
薄膜コーティング0.01μm~50μm:撥水撥油性、非粘着性、滑り性などを必要とする各種機器向けに。 厚膜コーティング300~1500μm:強酸、強アルカリによる耐食性を必要とする各種機器向けにピンホーレスの被膜が保護します。
価格帯
納期
用途/実績例
【実績例】 FM認証ダクト配管 CMP研磨装置 フォトレジスト製造タンク 超純水製造装置 ウェーハ搬送キャリア ウェーハ洗浄チャンバー ステッパー各種部品 吸着プレートほか