ルーツ式ドライ真空ポンプ
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工!ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に好適
基本情報
【耐薬品性】 ■フッ化水素 ■塩化水素 ■ヨウ化水素 etc ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■半導体 ■製薬、化学 ■高機能材 ■非鉄金属、無機 ※腐食性ガスを用いる装置全般 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工!ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に好適
【耐薬品性】 ■フッ化水素 ■塩化水素 ■ヨウ化水素 etc ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
【用途】 ■半導体 ■製薬、化学 ■高機能材 ■非鉄金属、無機 ※腐食性ガスを用いる装置全般 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。