プローブ針、プローブホルダ及びマニピュレータ
60年以上に渡り半導体デバイス解析用プロービング関連製品一筋に開発製造を行っている米国Micromanipulator社の製品
プローブ針：先端半径0.1μmの極小ターゲット用、高温プロービング用等プロービングの目的、ターゲットに合わせた各種プローブ針が用意されています。既にご使用されているプロービングシステムの交換用プローブ針としてご利用頂けます。 プローブホルダ：プローブ針を先端にセットしマニピュレータに組み合わせます。ケルビン接続やコアキシャル及びトライアキシャル仕様、またその両方の機能を備えた仕様の製品も用意されています（例：ケルビン接続のトライアキシャル仕様）。 マニピュレータ：先端にプローブ針を装着したプローブホルダを取り付け、ターゲットにプロービングを行います。マグネット及びバキューム吸着ベースの2種類用意されています。
基本情報
モデル７シリーズプローブ針：先端部材質：タングステン、Shank部Dia.: .020インチ 7シリーズのモデル例： モデル7A：精細なプロービング用。 Point Radius :0.35μm, Tip Dia. : .005インチ モデル７S：最柔軟性、高温プロービングにも最適。 Point Radius :0.35μm, Tip Dia. : .005インチ モデル7X：極小ターゲット用。 Point Radius :0.1μm, Tip Dia. : .003インチ モデル7B：高耐久性、一般プロービング用（針先まで一体化） Point Radius :0.5μm, Tip Dia. : .020インチ プローブホルダ： モデル79-8000-TD-03 Kelvin Triaxial Probe Holder: ケルビン接続のトライアキシャル仕様。ホルダの先端で同軸ケーブルが結線されています。 コアキシャル仕様もあります。
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
・半導体デバイス解析用プロービング、Failure Analysis ・デバイスの温度特性評価 ・デバイスの信頼性評価 ・高周波500MHzまで対応 ・ライフ・サイエンス ・シリコンウェハーでのプロービング検査
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取り扱い会社
欧米の先端技術に基づく材料の分析評価機器やセンサーシステムを国内市場に紹介することで、様々な分野での研究開発に貢献致します。 また、お客様の幅広いニーズに対応すべく、柔軟かつ確実な技術サポートを提供してまいります。 些細なことでも、まずはお気軽にご相談下さい。
