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VCSEL温特チップ/アレー/ウェハテスター

CCDカメラを搭載!

面発光レーザーVCSEL-LDのウェハ~チップをヒーターステージ上でプローブコンタクトし、I-L特性を計測する半自動装置

関連リンク - http://www.systemg.co.jp

基本情報

【特長】 ●ステージはX軸Y軸θ軸Z軸の4軸で構成しており、ステッピング  モーターにより精密な位置決めを実現 ●CCDカメラの搭載によりモニター上での快適な位置決めを可能 ●ステージ上のバキューム吸着テーブルとなっておりますので  容易な実装が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

価格情報

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納期

用途/実績例

○詳細はお問合せください。

VCSEL温特チップ/アレー/ウェハテスター

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