【半導体製造向け】無脈動・定量ポンプ『TPL』
半導体製造の高精度塗布に、±0.1%以下の再現精度を実現。
半導体製造業界では、微細な回路形成や機能性材料の塗布において、極めて高い精度が求められます。特に、光学フィルムやセパレータなどの薄膜塗工プロセスでは、材料の均一性と再現性が製品の性能を左右するため、微細な寸法のばらつきや塗布ムラは許容されません。これらの課題に対応するため、精密ポンプのタクミナが提供するスムーズフローポンプTPLは、再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下の連続一定流を実現し、高精度な塗布プロセスをサポートします。 【活用シーン】 ・光学フィルム、セパレータなどの機能性フィルムの薄膜塗工 ・精密計量プロセス ・インライン注入 【導入の効果】 ・塗布精度向上による製品歩留まり改善 ・均一な塗布による機能性向上 ・安定した流量供給による生産性向上
基本情報
【特長】 ■再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下で精密塗布を実現 ■スラリーにも強く、液漏れなし ■薬液配管を外さずに部品交換・メンテナンスが可能 ■ダイヤフラムを約4倍長寿命化し、メンテナンス頻度を低減 ■CIP洗浄に対応し、コンタミリスクを低減 【当社の強み】 株式会社タクミナは、67年以上の歴史を持つ精密ポンプのリーディングカンパニーです。創業以来、お客様の抱える難しい課題に対し、革新的な流体ソリューションを提供してまいりました。電子材料分野をはじめ、シビアな精度が要求される様々な製造プロセスで選ばれ続けており、お客様のニーズに合わせた最適なポンプ選定・移送システムのご提案を得意としております。貸出機や実液テストのご相談も承っておりますので、ポンプ選びや流体移送に関するお困りごとは、お気軽にお問い合わせください。
価格情報
概算見積もお気軽にお問合せください。
納期
型番・ブランド名
smooth flow pump（スムーズフローポンプ）
用途／実績例
光学フィルムなどの精密薄膜塗工、二液連続混合、液体クロマトグラフィーへの送液、ディップタンクへの送液、高精度な計量注入など、実績多数。 詳しくは公式ホームページをご覧ください。
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取り扱い会社
株式会社タクミナは、精密ポンプのリーディングカンパニー、あらゆる課題を歓迎する「流体ソリューション」の会社です。 創業から67年を超える歴史があり、日本で初めて動力付き定量ポンプの製造を開始した老舗メーカーです。 上水道が普及する前から吸入式塩素滅菌機の製造販売を始め、お客様が抱える難しい課題がこれまでのタクミナの「ポンプ技術」をつくってきました。 現在は電子材料、医薬、シビアな精度が要求される様々な製造プロセスで選ばれ続けているポンプ。ダイヤフラム式でありながら脈動の無い連続一定流で高精度送液、スラリーに強い、コンタミレス、液質変化しない、このような流体移送の悩みを解決するスムーズフローポンプをはじめとして、水処理分野をはじめとして様々な製造・移送・供給・注入プロセスで使われる流体ソリューションを取り揃えております。 タクミナは、液体の特性やプロセスの諸条件などを理解し最適な移送システムをご提案できるよう日々努めています。研究開発から製造プロセスまでご提案。 貸出機や実液テストの相談も承ります。ポンプ選びや流体移送でお困りの際はぜひお気軽にお問い合わせください。