【半導体洗浄向け】WRS モーター駆動ポンプ『MG シリーズ』
偏心カム機構で安定駆動、半導体洗浄に最適!
半導体業界の洗浄工程では、精密な部品の品質を維持するために、薬液の正確な供給が求められます。特に、異物混入や薬液の偏りは、製品の歩留まりを低下させる要因となります。WRS モーター駆動ポンプ『MG シリーズ』は、安定した運転と低騒音を実現し、精密な洗浄プロセスをサポートします。 【活用シーン】 * 半導体製造工程における薬液供給 * ウェーハ洗浄 * 基板洗浄 【導入の効果】 * 薬液供給の安定化による品質向上 * 低騒音化による作業環境の改善 * コンパクト設計による省スペース化
基本情報
【特長】 * PVC 仕様 * PVDF 仕様 * SUS316 仕様 【当社の強み】 工業用機器及び尿素水製造装置の製造販売を行っており、お客様のニーズに合わせた製品提案が可能です。
価格帯
納期
用途/実績例
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