【半導体向け】アルカリ液対応 TSPポンプ BSモデル
半導体製造における薬液供給に最適なダイヤフラム式ポンプ
半導体業界では、製造プロセスにおける薬液の正確な供給が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、アルカリ性の薬液は腐食性が高く、使用するポンプには高い耐薬品性が求められます。また、微量な薬液を正確に注入できる能力も不可欠です。当社のアルカリ液対応 TSPポンプ BSモデルは、耐腐食性に優れた材質を使用し、正確な薬液供給を実現することで、半導体製造における課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における薬液供給 ・薬液の微量定量注入が必要な場面 ・アルカリ性薬品を取り扱う場面 【導入の効果】 ・薬液供給の精度向上 ・製品品質の安定化 ・ランニングコストの削減
基本情報
【特長】 ・様々な薬品を移送できる、耐腐食性に優れた樹脂ポンプ。 ・少量を正確に送るのに最適なソレノイド駆動方式を採用。 ・屋外の使用も可能なIP65相当の防水性能。 ・100～240Vの電源に対応。 ・使いやすさに優れた、デジタル表示を採用。 【当社の強み】 工業用機器及び尿素水製造装置の製造販売を行っており、お客様のニーズに合わせた製品提案が可能です。
価格情報
参考定価 TSP-60,100,200-BS-S：￥80,000-
納期
型番・ブランド名
ソレノイド駆動式 定量ダイヤフラムポンプ TSPシリーズ BSタイプ
用途／実績例
様々な薬品を移送できる、耐腐食性に優れた樹脂ポンプ。 少量を正確に送るのに最適なソレノイド駆動方式。
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TSP-60-BS-S | 最大吐出量:60mL/min 最大吐出圧力:1MPa 定格電圧:AC100V～240V単相 周波数:50/60Hz 移送液温:0～40℃(凍結なきこと) 材質:(接液部)PVC/(ダイヤフラム)PTFE/(パッキン)EPDM 質量:2.8kg 接続部のサイズ(吐出側/吸込側)Φ6×Φ11 ストローク数:1～200回/分 ストローク長:0.0～1.0mm 移送可能粘度:100mPa・s |
| TSP-100-BS-S | 最大吐出量:100mL/min 最大吐出圧力:1MPa 定格電圧:AC100V～240V単相 周波数:50/60Hz 移送液温:0～40℃(凍結なきこと) 材質:(接液部)PVC/(ダイヤフラム)PTFE/(パッキン)EPDM 質量:2.8kg 接続部のサイズ(吐出側/吸込側)Φ6×Φ11 ストローク数:1～200回/分 ストローク長:0.0～1.0mm 移送可能粘度:100mPa・s |
| TSP-200-BS-S | 最大吐出量:200mL/min 最大吐出圧力:0.35MPa 定格電圧:AC100V～240V単相 周波数:50/60Hz 移送液温:0～40℃(凍結なきこと) 材質:(接液部)PVC/(ダイヤフラム)PTFE/(パッキン)EPDM 質量:2.8kg 接続部のサイズ(吐出側/吸込側)Φ6×Φ11 ストローク数:1～200回/分 ストローク長:0.0～1.0mm 移送可能粘度:100mPa・s |
