GasShield Sandwich Filter Series
耐腐食性・耐熱性に優れた金属エレメントにより、高温460℃に対応！
『GasShield Sandwich Filter Series』は、設置スペースに制約ある 環境下に適した耐食性に優れた高捕獲性能・低圧損フィルターです。 ガスフィルター業界トップクラスの 0.0015μm(1.5nm) 9LRVの 高捕獲性能なほか、先進プロセスの特殊ガスを始め、液体・固体 ソースの気化ラインにも好適。 耐腐食性・耐熱性に優れた、金属エレメントにより、高温460℃に 対応しており、独自製法により、従来比25％の低圧力損失を実現 しております。 【ラインアップ】 ■1.125" C-Seal ・材質：SUS 316L ・Alloy 22 ■1.125" W-Seal ・材質：SUS 316L ・Alloy 22 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【展示会出展情報】 ■展示会名 ・セミコンジャパン2025 ・SEMICON Japan 2025 ■会期：12月17日～19日 ■会場：東京ビックサイト ■テクメイションブース番号：W1350 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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