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高圧ポンプユニット KPM-5030

ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。

【特長】 ■インバータ内蔵により流量特性を可変可能 ■外部信号により運転、停止が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

関連リンク - https://www.technomate.co.jp/product/highvoltage.h…

基本情報

【仕様】 〇サイズ  ・W598×D548×H1224(mm) ○重量 150Kg ○吐出流量、圧力  ・33.5L/分、5MPa ○供給エア圧:0.4~0.7MPa ○純水仕様圧力:0.3~0.4MPa ○アラーム機能  供給水圧低下  インバータ出力異常

価格情報

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納期

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型番・ブランド名

KPM-5030

用途/実績例

【用途】 ・研磨ウエハの洗浄

ラインアップ(1)

型番 概要
KPM-5030

取り扱い会社

「きっと、未来にいるものを。」をテーマとして、半導体製造装置周辺機器の 設計、製作を主体にお客様のニーズに対応した製品開発を行っています。 私たちの保有する技術がさまざまな分野で製品化され、お客様に役立てればと 思っております。研究開発や試作などお客様のアイデアをもとに製品化することに 社員全員が情熱を持って取り組む会社です。 心より皆様方のお問い合わせをお待ちしております。

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