昇圧ポンプユニット UPPU-10LR
各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
基本情報
【仕様】 〇吐出圧力:0.4MPa max 〇吐出流量:7L毎分 0.2MPa時 〇駆動エア圧力:0.2~0.4MPa 〇エア消費量:50L毎分 〇脈動防止:アキュムレータ内蔵 〇接液配管材質:テフロンPFA、または、PTFE 〇漏水検知:ワイヤー式漏水検知器内蔵
価格帯
納期
型番・ブランド名
UPPU-10LR
用途/実績例
【用途】 ■各種洗浄装置 ■スピンドルモータ冷却 ■バリ除去 ■ウエハスピン洗浄用 【実績例】 工場設備として使用
ラインアップ(1)
型番 | 概要 |
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UPPU-10LR |
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