温風乾燥ユニット M49
カスタマイズ可能な温風発生装置
対象となる装置より温風発生の指令を受け内蔵タイマーにより一定時間 温風を発生し､ウエハに乾燥用温風を供給するためのものである 【仕様】 ○電源電圧 AC100V±10%､ 10A 50/60HZ ○電源接続ブレーカーの1次側に端子台を介さず直接接続する ○各部温度設定範囲及び上限温度リミッタ設定 ○温風タイマー設定時間 : 0~10分 【安全仕様】 ○温度コントローラが｢センサ異常｣や｢温度異常｣を検出した場合､温度コントローラの電源を切断し「運転異常」ランプを点灯する ○ノズルヒータ制御の故障による温度上昇を防ぐためヒータ出口に独立した温度計にてモニターし設定温度を超えたときは温度コントローラの電源を切断し｢温度異常｣ランプを点灯する ○ノズル先端温度を計測する温度計を内蔵する ○寸法：W200×D200×H375
基本情報
対象となる装置より温風発生の指令を受け内蔵タイマーにより一定時間 温風を発生し､ウエハに乾燥用温風を供給するためのものである ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
M49
用途／実績例
【用途】 ○ウエハに乾燥用温風を供給する
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取り扱い会社
「きっと、未来にいるものを。」をテーマとして、半導体製造装置周辺機器の 設計、製作を主体にお客様のニーズに対応した製品開発を行っています。 私たちの保有する技術がさまざまな分野で製品化され、お客様に役立てればと 思っております。研究開発や試作などお客様のアイデアをもとに製品化することに 社員全員が情熱を持って取り組む会社です。 心より皆様方のお問い合わせをお待ちしております。
