静電容量式露点計（酸化アルミニウム）の原理について
テクネ計測主力製品露点計 TK-100シリーズ の原理
センサーの材質に酸化アルミニウムを使用しており、 水分子量の電気容量を検知し測定しております。 高分子センサーよりも感度が高く、微量水分を検知できますが、 応答速が劣ります。用途としては、半導体、グローブボックス、電池製造など 常時低露点環境で多く利用されております。 測定範囲は、-100 ℃dp～+20 ℃dpです。 静電容量式露点計（酸化アルミニウム）の原理に関する詳細は、 以下URLよりご覧ください。
基本情報
詳細は、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
グローブボックス内の露点管理 ドライヤーの露点チェック 熱処理炉内雰囲気管理 クリーンルーム・ドライルームの露点管理 ガスの純度管理 天然ガス水分管理 半導体製造装置 有機EL製造
