【半導体ウェーハ処理向け】MBW Spider
恒温槽校正の効率化！温度センサー配置を最適化
半導体ウェーハ処理業界では、製造プロセスの品質管理のため、恒温槽内の温度・湿度の正確な測定が不可欠です。特に、ウェーハの均一な処理には、槽内環境の正確な把握が重要であり、温度分布の均一性が求められます。不適切な温度管理は、ウェーハの品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。MBW Spiderは、恒温恒湿槽の校正時に温度センサーを最適な位置に配置するための治具です。これにより、槽内温度分布の正確な測定を可能にし、ウェーハ処理の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ処理工程における恒温槽の校正 ・温度・湿度管理が必要な半導体製造プロセス ・品質管理部門における温度測定の効率化 【導入の効果】 ・槽内温度分布の正確な把握による品質向上 ・校正作業の効率化 ・測定データの信頼性向上
基本情報
【特長】 ・恒温恒湿槽内でセンサー固定不要 ・自立スタンドに温度・露点センサーを固定可能 ・温度９点・露点１点をグラフ化 ・温度９点を相対湿度に変換可能 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして、長年培ってきた水分管理に関するノウハウを活かし、お客様の課題に最適なソリューションを提供します。MBW Spiderをはじめ、露点計、酸素濃度計など、幅広い製品ラインナップと、校正・点検・修理サービスを通じて、お客様の品質管理をサポートします。
価格帯
納期
型番・ブランド名
MBW Spider
用途／実績例
● 恒温恒湿槽の校正 ● 恒温恒湿槽内の温湿度分布 ● 研究開発での試験槽に ● 恒温槽内均一性の研究
