【半導体向け】腐食性ガス中水分計制御盤 TKZM-TMA
半導体製造プロセスにおける品質管理をサポート
半導体業界の品質管理において、製造プロセスで使用されるガスの清浄度は製品の品質を左右する重要な要素です。特に、腐食性ガス中の水分は、半導体デバイスの性能劣化や製造装置の腐食を引き起こす可能性があります。腐食性ガス中水分計制御盤 TKZM-TMAは、ドライ塩素ガスラインにおける水分量を正確に測定し、品質管理を支援します。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおけるガス供給ライン ・品質管理部門でのガス分析 ・製造装置の保護 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・製造装置の寿命延長 ・安定した製造プロセスの実現
基本情報
【特長】 ・ドライ塩素ガスライン測定用 ・水分分析計収納盤 ・設置環境に応じてポール設置型、壁掛け型変更可能 ・オプション品の盤クーラーで高温環境下対応可能 ・ガスサンプリング機器収納盤と信号変換器を内蔵した変換器収納盤の２台で構成 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして、長年培ってきた水分計測技術を活かし、お客様のニーズに合わせた製品を提供します。複雑な問題にも迅速に対応し、最適なソリューションを提供します。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
TKZM-TMA
用途／実績例
● ドライ塩素ガスライン測定用
