【半導体製造向け】EE741 圧縮空気/ガス用インライン流量計
半導体製造における圧縮ガス流量を正確に計測、リーク検出と省エネに貢献。
半導体製造業界では、製造プロセスにおける清浄度の維持が極めて重要です。圧縮空気や工業用ガス中の微量な汚染物質は、製品の品質を低下させるだけでなく、製造装置の故障を引き起こす可能性があります。特に、リークによるガスの漏れは、清浄度を損なう大きな要因となります。EE741は、圧縮ガス流量を正確に計測し、リークを早期に発見することで、清浄度維持に貢献します。また、省エネにもつながります。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける圧縮空気、窒素ガスなどの流量監視 ・クリーンルーム内のガス供給ラインにおけるリーク検出 ・製造装置へのガス供給量の最適化による省エネ 【導入の効果】 ・リークの早期発見による清浄度の維持 ・ガス使用量の最適化によるコスト削減 ・製品品質の向上 ・製造装置の安定稼働
基本情報
【特長】 ・モジュラー設計により、配管を分解せずに除去可能 ・アナログ、パルス、スイッチング出力、Modbus RTU と M-Bus ・熱測定の原理とE+E 熱膜センサー素子により、⾧期安定性と高速応答を実現 ・アプリケーション特有のマルチポイント機能により、低範囲でも卓越した測定精度 ・DN15 からDN50 パイプ内の圧縮ガスに対応 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして培ったノウハウを活かし、お客様のニーズに合わせた製品選定と、最適なソリューションを提供します。計測器の販売だけでなく、校正・点検・修理サービスも提供し、製品導入後のサポートも万全です。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
EE741
用途／実績例
● 圧縮空気消費量測定 ● 技術ガスO2、N2、Ar、CO₂のモニタリング。その他のガスもご要望に応じて対応 ● 窒素発生装置 ● 漏れ検出 等
