【半導体クリーンルーム向け】負圧オートドレーン
クリーンルーム環境の液体排出を自動化し、システムの信頼性を向上
半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微細な粒子や液体の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、ガスサンプリングラインや関連機器に蓄積する液体や液滴は、システムの誤作動や汚染の原因となり、歩留まりの低下を招く可能性があります。負圧オートドレーンは、これらの問題を解決するために設計されました。蓄積された液体を連続的に自動排出することで、クリーンルーム環境の清浄度を維持し、安定した製造プロセスをサポートします。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内のガスサンプリングライン ・半導体製造装置の排液処理 ・プレフィルター、スプレースクラバー、リキッドトラップからの排水 【導入の効果】 ・クリーンルーム環境の汚染リスクを低減 ・システムの信頼性向上とメンテナンス頻度の削減 ・製品品質の安定化と歩留まり向上
基本情報
【特長】 ・溜まった液体や液滴を連続的に排出 ・大気からのサンプルガスへの逆流を防ぎ、システムの信頼性を向上 ・液面確認チューブにより液面が確認でき、メンテナンスが容易 ・オーバーフローポートは入れすぎを防ぎ、使用が容易 ・最大2つの機器からの排水を接続 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして培った技術とノウハウを活かし、お客様のニーズに合わせた最適な製品を提供します。水分管理に関する豊富な知識と、配管・ライン作成、ユニット化によるオーダーメイド対応で、複雑な問題にも迅速に対応いたします。
価格帯
納期
用途／実績例
■ 溶剤を含むガスからの水分および液体の連続的除去 等
