【半導体製造向け】ブローバックプレフィルター
粉体、微粒子を効果的に除去し、清浄度を維持
半導体製造業界では、製造プロセスの清浄度を維持することが、製品の品質と歩留まりを向上させるために不可欠です。微粒子や粉体は、デバイスの性能を低下させ、不良品発生の原因となります。Neutronics ブローバックプレフィルターは、サンプルガス中の粉体や粒子状物質を効率的に除去し、酸素センサーやサンプリング機器の汚損や損傷を防ぎます。自動クリーニング機能により、メンテナンス頻度を削減し、システムの信頼性を向上させます。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおけるガス供給ライン ・クリーンルーム内のサンプリングポイント ・分析装置へのガス供給 【導入の効果】 ・清浄度の高いガス供給による製品品質の向上 ・メンテナンスコストの削減 ・システムの安定稼働
基本情報
【特長】 ・効率的にサンプルガスから粉体や粒子状物質を除去 ・0.4 ミクロンまでの粒子状物質を効果的に除去 ・焼結金属フィルターエレメント：連続運転が可能で⾧寿命 ・自動フィルタークリーニングが可能 ・耐腐食構造:SUS 筐体/SUS エレメント、kyner 筐体/ハステロイエレメント から選択可能 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして培った技術と経験を活かし、お客様のニーズに合わせた最適な製品を提供します。露点計をはじめとする様々な計測器・装置との組み合わせによる、トータルソリューションを提供し、複雑な問題にも迅速に対応します。
価格情報
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納期
用途／実績例
■ 粉体や微粒子を含むガスからの粒子状物質の除去 等
