【半導体向け】ボールバルブ NA1T シリーズ
ローコストを実現する、高純度配管対応の簡易ボールバルブ
半導体製造業界では、製品の品質を左右する高純度ガスや液体の厳密な流量制御が求められます。特に、微細な粒子や不純物の混入は、製造プロセスに深刻な影響を与え、歩留まりの低下や製品不良を引き起こす可能性があります。ボールバルブは、配管内の水・空気・ガス等の流れを止めたり流したりするという重要な役割を担っており、高純度環境下での信頼性の高い制御が不可欠です。ボールバルブ NA1T シリーズは、ローコストでありながら、高純度環境に対応する材質を採用し、半導体製造プロセスにおける品質維持に貢献します。 【活用シーン】 ・高純度ガス供給ライン ・薬液供給ライン ・クリーンルーム内配管 【導入の効果】 ・異物混入リスクの低減 ・プロセスの安定化 ・コスト削減
基本情報
【特長】 ・レバータイプとバタフライタイプの2種類 ・使用温度：-5 ℃～+175 ℃ ・使用圧力：最大7 MPa ・材質：SUS316 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして培った技術を活かし、お客様のニーズに合わせた製品を提供します。露点計をはじめとする様々な計測器・装置との組み合わせによる、最適なソリューションを提供し、複雑な問題にも迅速に対応します。
価格帯
納期
用途／実績例
配管システム 等
