【半導体製造向け】マスフローメーター EE771/EE772
半導体製造における清浄度管理をサポート。高精度計測で品質向上へ。
半導体製造業界では、製造プロセスにおける微細な異物混入が製品の品質を大きく左右します。特に、圧縮空気や各種ガスの清浄度管理は、歩留まりを左右する重要な要素です。マスフローメーターEE771/EE772は、これらのガス流量を正確に計測し、清浄度管理を支援します。高精度な計測と信頼性の高いデータを提供することで、製造プロセスの最適化に貢献します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内の圧縮空気供給ライン ・各種ガス供給ライン（窒素、酸素、アルゴンなど） ・半導体製造装置へのガス供給 【導入の効果】 ・ガス流量の正確なモニタリングによる品質管理の強化 ・ガス使用量の最適化によるコスト削減 ・製造プロセスの安定化と歩留まり向上
基本情報
【特長】 ・高精度指示値の±1.5% ・圧力下測定を出荷前設定 ・優れた再現性 ・ライン圧力下での素早いセンサー交換(EE772) ・Modbus RTU/M-BUS用バスインターフェイス 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして培った技術とノウハウを活かし、お客様のニーズに合わせた最適な製品選定と、きめ細やかなサポートを提供します。計測器の販売だけでなく、校正・点検・修理サービスも行っており、製品導入後も安心してご利用いただけます。
価格帯
納期
型番・ブランド名
EE771/EE772
用途／実績例
● 圧縮空気消費量測定 ● 工業用ガスの流量測定(O2,N2,Ar,Co2,He) ● 窒素発生器 ● 漏れ検出 他多岐にわたる
