【半導体製造向け】防爆露点計TK-100TR-EX
半導体製造の清浄度維持に貢献！国内防爆認定取得の露点計
半導体製造業界では、製造プロセスにおける微量な水分が製品の品質を大きく左右します。特に、クリーンルーム環境下でのガス中の水分管理は、歩留まりの向上、製品の信頼性確保のために不可欠です。水分は、半導体デバイスの性能劣化や腐食を引き起こす可能性があります。TK-100TR-EXは、爆発危険区域でのガス中水分計測を念頭に開発された静電容量式露点計であり、清浄度維持に貢献します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内のガス供給ライン ・半導体製造プロセスの乾燥空気供給 ・特殊ガス供給ライン 【導入の効果】 ・高精度な露点測定による品質管理の強化 ・製品の歩留まり向上 ・製造プロセスの安定化 ・コスト削減
基本情報
【特長】 ・国内開発・国内製造・国内校正 ・日本国内防爆（TIIS）認定を取得 ・－100～＋20 ℃dpの露点測定範囲 ・高応答速 ・競争力ある価格体系 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして、お客様のニーズに合わせた製品を提供し、複雑な問題点にも迅速に対応します。校正・点検・修理業務も行い、トータルサポートを提供します。
価格帯
納期
型番・ブランド名
TK-100TR-EX
用途／実績例
● 防爆エリア内ので露点・水分管理 ● グローブボックス内の露点管理 ● ドライヤー/ドライエアの露点チェック ● 熱処理炉内雰囲気管理 ● クリーンルーム・ドライルームの露点管理 ● ガスの純度管理 ● 天然ガス水分管理 ● 半導体製造装置 ● 有機EL製造 他多岐にわたる
